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ウエハーリング
  • ウエハーリング【標準品】
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ウエハーリング【標準品】
ウエハーサイズ
品番
内径
外形
外寸 縦
外寸 横
板厚
5インチ
ISTFR-0512
175
214
195
195
1.2
6インチ
ISTFR-0612
194
228
212
212
1.2
8インチ
ISTFR-0812
250
296
276
276
1.2
8インチ
ISTFR-0815
250
296
276
276
1.5
12インチ
ISTFR-1212
350
400
380
380
1.2
12インチ
ISTFR-1215
350
400
380
380
1.5

材質　：SUS420-J2
硬度　：HRC47以上（5.12インチ）
　　　  HRC50以上（6.8インチ）
表面　：無電解ニッケルめっき
平面度：0.3mm以下
面粗度：Ra 0.1 μm以下
ウエハーリング【特殊品】
ご希望の仕様でオーダーメイド
　SUS以外の材質、熱処理無しフレーム、またメッキ有無でも製作可能です。
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2024年6月
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